真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱簡介:
真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱是一種定制專用真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內(nèi)部,從而置換腔內(nèi)空氣降低氧濃度,來防止部分物料在高溫環(huán)境下加速氧化的現(xiàn)象??鞠涑槿≌婵蘸螅淙氲獨?,再抽取真空,多次循環(huán)后可以確??鞠涞墓ぷ魇姨幱跓o氧的狀態(tài),避免活性較強的物料在高溫有氧的環(huán)境下被氧化而損壞。
無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應用于半導體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場所。
真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱技術(shù)指標:
工作室尺寸(mm)
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450×450×450,600×600×600,可定制
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箱體材質(zhì)
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內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑或不銹鋼
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溫度范圍
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RT+10-300/400/500℃
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溫度分辨率
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0.1℃
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溫度波動度
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≤±1℃
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升溫速率
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≤5℃/min
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降溫速率
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特殊要求數(shù)據(jù)
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真空度
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≤133pa或要求數(shù)據(jù)
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電源
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AC220V、 380V±10% / 50HZ
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控制儀表
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人機界面,可校準溫度控制器,PID自整定等功能
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擱板層數(shù)
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不銹鋼托盤2層或多層
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真空泵
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油泵/干泵自選
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腔門密封圈
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采用耐高溫硅橡膠密封圈
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狀態(tài)指示燈
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配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態(tài)
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氧含量
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20PPM,可檢測,實時顯示
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潔凈度
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Class100、1000級
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降溫系統(tǒng)
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風冷+水冷
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氮氣控制
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可程序自動控制
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安全保護裝置
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安全的接地保護裝置,超溫保護及報警裝置,漏電保護裝置
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